Proučavanje oblika spektralnih linija Ne I i Ne II u prikatodnoj oblasti abnormalnog tinjavog pražnjenja

Abstract

Prikatodna oblast predstavlja najvažniji deo tinjavih pražnjenja (TP), jer se u njoj javlјaju različiti procesi relevantni kako za rad tako i za primenu tinjavih pražnjenja. Jedan od najvažnijih parametara prikatodne oblasti je raspodela jačine električnog polјa Е, koја je od presudnog značaja za ubrzanje naelektrisanih čestica, njihove putanje, kinetičke energije i sudare sa drugim česticama, kao i raspršivanje materijala katode. Svi ovi procesi su značajni za rad TP i njegove primene u oblasti spektroskopske analize, depozicije tankih slojeva, kao i dubinskog profiliranja i nagrizanja katodnog materijala plazmom. Prema tome, potpuno je jasna potreba za neperturbujućim tehnikama za merenje raspodele električnog polja Е u uzanoj prikatodnoj oblasti...

The cathode sheath (CS) region is the most important part of an abnormal glow discharge (GD), where various processes relevant for the operation and application occur. One of the most important parameters of CS is the distribution of electric field strength Е, which is of crucial importance for charged particles acceleration, their trajectories, kinetic energies and collisions with other particles and cathode sputtering. All these processes are relevant for the operation of GD as well as for numerous applications in the field of spectroscopic analysis, plasma etching, thin film deposition and depth profiling of cathode material. Thus, the importance of non-perturbing technique for E distribution measurement in a tiny CS region was recognized long time ago...