Proučavanje oblika spektralnih linija Ne I i Ne II u prikatodnoj oblasti abnormalnog tinjavog pražnjenja
The study of ne i and ne ii spectral line shapes in cathode sheath region of an abnormal glow discharge
Author
Ivanović, Nikola V.Mentor
Šišović, Nikola
Committee members
Šišović, Nikola
Spasojević, Đorđe

Konjević, Đorđe
Videnović, Ivan
Metadata
Show full item recordAbstract
Prikatodna oblast predstavlja najvažniji deo tinjavih pražnjenja (TP), jer se u njoj
javlјaju različiti procesi relevantni kako za rad tako i za primenu tinjavih pražnjenja.
Jedan od najvažnijih parametara prikatodne oblasti je raspodela jačine električnog polјa
Е, koја je od presudnog značaja za ubrzanje naelektrisanih čestica, njihove putanje,
kinetičke energije i sudare sa drugim česticama, kao i raspršivanje materijala katode.
Svi ovi procesi su značajni za rad TP i njegove primene u oblasti spektroskopske
analize, depozicije tankih slojeva, kao i dubinskog profiliranja i nagrizanja katodnog
materijala plazmom. Prema tome, potpuno je jasna potreba za neperturbujućim
tehnikama za merenje raspodele električnog polja Е u uzanoj prikatodnoj oblasti...
The cathode sheath (CS) region is the most important part of an abnormal glow
discharge (GD), where various processes relevant for the operation and application
occur. One of the most important parameters of CS is the distribution of electric field
strength Е, which is of crucial importance for charged particles acceleration, their
trajectories, kinetic energies and collisions with other particles and cathode sputtering.
All these processes are relevant for the operation of GD as well as for numerous
applications in the field of spectroscopic analysis, plasma etching, thin film deposition
and depth profiling of cathode material. Thus, the importance of non-perturbing
technique for E distribution measurement in a tiny CS region was recognized long time
ago...